1.說明

ES612 HBM（HMM,MM）測(cè)試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測(cè)器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形，為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測(cè)，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。

2.特點(diǎn)

• 低寄生參數(shù)，具有高質(zhì)量脈沖

• 可定制，可擴(kuò)展

• 可搭配探針臺(tái)進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試

• 外置可選配的自動(dòng)故障檢測(cè)模塊

• 觸摸控制面板

• 可固件升級(jí)

• 可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測(cè)量軟件

• 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能

3.ES612 HBM（HMM,MM）測(cè)試儀應(yīng)用

• 用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)器件的通用ESD測(cè)試

• HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014

• HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2009

• MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2012

4.規(guī)格

ES612 控制主機(jī)

外置人體模型（HBM ）波形發(fā)生模塊