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您的位置：首頁  /  產(chǎn)品展示  /  器件級(jí)靜電放電解決方案  /  ESD測(cè)試儀(HBM、HMM、MM)  /  ESDEMCES612A ESD測(cè)試儀(HBM、HMM、MM)

ES612A ESD測(cè)試儀(HBM、HMM、MM)

ES612A ESD測(cè)試儀(HBM、HMM、MM)是一款2管腳ESD測(cè)試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM、HMM和MM的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612A可搭配64pin/128pin多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：ESDEMC
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2024-09-23
  • 訪  問  量：916
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詳細(xì)介紹

ES612A ESD測(cè)試儀(HBM、HMM、MM)介紹：

1.描述

ES612A是一款2管腳ESD測(cè)試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM、HMM和MM的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612A可搭配64pin/128pin多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。

ES612A ESD測(cè)試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測(cè)器件端的波形性能。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形，用于確定保護(hù)電路的導(dǎo)通電平。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測(cè)，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。

2.特點(diǎn)

低寄生參數(shù)，具有高質(zhì)量脈沖

可定制，可擴(kuò)展

可搭配探針臺(tái)進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試

外置可選配的自動(dòng)故障檢測(cè)模塊

大尺寸觸摸控制面板，固件可升級(jí)

可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測(cè)量軟件

可選配的脈沖IV和DC IV表征功能

3.應(yīng)用

用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)器件的通用ESD測(cè)試

HBM模塊符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750

HMM模塊符合ANSI/ESD SP5.6-2019

MM模塊符合ANSI/ESD STM5.2-2019

4.規(guī)格

ES612A 控制主機(jī)

參數(shù)

ES612A-2K

ES612A-4K

ES612A-6K

ES612A-8K

ES612A-12K

ES612A-20K

單位

輸出電壓

±10~2000

±10~4000

±10~6000

±10~8000

±10~12000

±10~20000

V

最小輸出電壓步長(zhǎng)

1V (500V以內(nèi))

10V (2kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (4kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (6kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (8kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (12 kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (20 kV以內(nèi))

V,


kV

輸出電壓精度

優(yōu)于±1%±5V

%

尺寸

347X300X145

mm

重量

5

6

6

6

6

7

kg

電壓、電流測(cè)量

電壓、電流測(cè)量無源探頭

支持的示波器

Keysight， Tektronix，Lecory主流型號(hào)示波器

支持的SMU

Keithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx系列

外置人體模型（HBM ）波形發(fā)生模塊(根據(jù)ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017)

參數(shù)

HBM-2K

HBM-4K

HBM-6K

HBM -8K

HBM -12K

HBM -20K

單位

輸出電壓

±10~2000

±10~4000

±10~6000

±10~8000

±10~12000

±10~20000

V

放電RC值

C: 100pF±10%，R: 1.5k?±1%


短路峰值電流Ips

0.67A±10%每kV

ns

短負(fù)荷上升時(shí)間Trs

2<Trs<10

ns

短負(fù)荷衰減時(shí)間Tds

130<Tds<170

ns

短負(fù)荷振鈴Irs

<15%of Ips


500Ω負(fù)載峰值電流Ipr

Ipr/Ips≥63%


500Ω負(fù)載上升時(shí)間Trr

5<Trr<25

ns

外置人體金屬模型（HMM ）波形發(fā)生模塊(根據(jù)ANSI/ESD SP5.6-2019)

參數(shù)

HMM-8

HMM-24

HMM-36

單位

備注

HMM第一峰值電流

90

90

135

A

3.75A每1kV≤±10%

IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)

HMM電流@30ns

48

48

72

A

≤±10% (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的±30% )

HMM電流@60ns

24

24

36

A

≤±10% (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的±30% )

外置機(jī)器模型（MM ）波形發(fā)生模塊(根據(jù)ANSI/ESD STM5.2-2019)

參數(shù)

MM-2

MM-4

單位

備注

輸出電壓

±10~2000

±10~4000

V


放電RC值

C: 200pF，R: 0?



短路負(fù)載峰值電流Ip1

1.75±10%每100V

A

如果使用插座公差會(huì)不同

短路負(fù)載Ip2

Ip1的67%~90%

A


短路負(fù)載波形周期tpm

66<tpm<90

ns


500?負(fù)載峰值電流Ipr

0.85–1.2

A

@400V符合標(biāo)準(zhǔn)的條件

500?負(fù)載I100

0.23–0.4

A

@400V符合標(biāo)準(zhǔn)的條件

500?負(fù)載I200

測(cè)量的I100的30-50%

A


5.訂購信息

編號(hào)

型號(hào)

描述

ESD測(cè)試儀

1.1

ES612A-2K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高2kV，支持RS232 SCPI


ES612A-4K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高4kV，支持RS232 SCPI


ES612A-6K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高6kV，支持RS232 SCPI


ES612A-8K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高8kV，支持RS232 SCPI


ES612A-12K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高12kV，支持RS232 SCPI


ES612A-20K

ES612 ESD測(cè)試儀，最高20kV，支持RS232 SCPI

1.2

ES612A-HBM-2

人體模型2管腳模型，2kV


ES612A-HBM-4

人體模型2管腳模型，4kV


ES612A-HBM-6

人體模型2管腳模型，6kV


ES612A-HBM-8

人體模型2管腳模型，8kV


ES612A-HBM-12

人體模型2管腳模型，12kV


ES612A-HBM-20

人體模型2管腳模型，20kV

1.3

ES612A-HMM-8

人體金屬模型2管腳模型，等同8kV HMM


ES612A-HMM-24

人體金屬模型2管腳模型，等同24kV HMM


ES612A-HMM-36

人體金屬模型2管腳模型，等同36kV HMM

1.4

ES612A-MM-2

機(jī)器模型2管腳測(cè)試儀模型，2kV


ES612A-MM-4

機(jī)器模型2管腳測(cè)試儀模型，4kV

附件

2.1

CT-002-T

電流探頭1kHz至2GHz (優(yōu)于Tektronix CT1&CT2)

2.2

ES62X-CMPS

簡(jiǎn)易手動(dòng)探針臺(tái)

2.3

XYZM

XYZ探針座，XYZ可移動(dòng)500mils，0.01mm每個(gè)步進(jìn)

2.4

XYZM-HBM

HBM探針臂

2.5

XYZM-HMM

HMM探針臂(47.5R)

2.6

HBM-TC0.3

0.3mm用于IC探針封裝的變槳測(cè)試夾

2.7

HBM-TC2.5

2.54mm用于PCB探針的變槳測(cè)試夾(默認(rèn)配置包含1組)

2.8

XYZM-PP048

0.48mm用于封裝級(jí)測(cè)試的彈簧針 (一包20個(gè))

2.9

XYZM-TN1

鎢鋼針–5mils尖頭，用于晶圓級(jí)測(cè)試 (一包10個(gè))

第三方設(shè)備

3.1

KSMU2400

SMU，200V，1A，20W，單通道(用于設(shè)備直流自動(dòng)失效檢測(cè)))

3.2

OSC-1G

1 GHz BW，5Gs/S，4通道示波器

ES612A ESD測(cè)試儀(HBM、HMM、MM) 自動(dòng)化解決方案

4.1

HBM-RE64X2

64X2用于HBM自動(dòng)測(cè)試的管腳轉(zhuǎn)接擴(kuò)展模塊

4.2

HBM-RE128X2

128X2用于HBM自動(dòng)測(cè)試的管腳轉(zhuǎn)接擴(kuò)展模塊

4.4

ES62X-PC-SW1

預(yù)裝自動(dòng)測(cè)試軟件的臺(tái)式電腦，用于2管腳、脈沖和SMU

4.5

ES62X-PC-SW2

預(yù)裝自動(dòng)測(cè)試軟件的臺(tái)式電腦，用于2管腳、脈沖、示波器和SMU

4.6

ES62X-PC-SW3

預(yù)裝自動(dòng)測(cè)試軟件的臺(tái)式電腦，用于RE 多管腳、脈沖、示波器和 SMU

4.7

ES650-150

全自動(dòng)2管腳低寄生機(jī)械自動(dòng)化方案  (不限制管腳，不需要PCB，PC&包含全自動(dòng)軟件)





 
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